單晶硅諧振式傳感器是一塊單晶硅芯片上采用微電子機(jī)械加工技術(shù)，在單晶硅芯片上制成兩個(gè)*一致的H形狀的諧振梁，并以一定的頻率產(chǎn)生振動(dòng)。其諧振頻率取決于梁的長度和張力，其梁的長度已經(jīng)確定，而張力是隨壓力變化而變化。從而把壓力的變化轉(zhuǎn)換成頻率的變化，對差壓采用頻率差分技術(shù)，并將頻率差信號直接輸出到CPU進(jìn)行運(yùn)算和A/D轉(zhuǎn)換。
單晶硅壓力變送器具有如下特點(diǎn)：
1、精度高：由于傳感器使用的是單晶硅諧振式傳感器，其優(yōu)良的性能保證了測量的精度，變送器的精度可達(dá)到±0.065%，這是其他變送器*的?！ ?/div>
2、穩(wěn)定性好：由于電路采用了特性修正存貯器，對采集到的溫度、靜壓數(shù)據(jù)通過CPU運(yùn)算，修正因此產(chǎn)生的測量漂移。同時(shí)，智能轉(zhuǎn)換器采用了大規(guī)模集成電路，并將放大器AISC化，減少了零部件，提高了放大器的自身可靠性，使儀表具有非?？煽康姆€(wěn)定性和重復(fù)性。
3、靜壓特性好：由于兩個(gè)諧振梁加工工藝精密，尺寸*一致，且處于同一表面，故在受壓后產(chǎn)生的頻率變化是相同的，其差值保持不變。因此，在靜壓引入儀表時(shí)對測量幾乎沒有影響，保證了測量的精度?！ ?/div>
4、具有良好的單向受壓特性：變送器具有非常優(yōu)良的承受反復(fù)交替的高壓側(cè)、低壓側(cè)反復(fù)受壓的能力，其數(shù)值可大16Mpa。其受壓時(shí)間可達(dá)30S。其優(yōu)點(diǎn)是安裝時(shí)可以省去平衡閥，節(jié)省投資。另一方面可以防止因誤操作或?qū)汗芏氯斐勺兯推鲉蜗蚴軌簱p壞，可以避免因此給企業(yè)造成的損失?！ ?/div>
5、具有較寬的測量范圍，但衡量一種變送器是否具有較寬的測量范圍外，還需要考慮變送器的各部分材質(zhì)和許多附加規(guī)格是否能一機(jī)多用，EJA變送器在這一點(diǎn)上顯示了較好的*性，其接液部件材質(zhì)、本體和排氣閥材質(zhì)均采用JISSUS316，膜盒材質(zhì)采用JISSUS316L（膜片采用的是哈氏合金C-276），這樣的高耐腐蝕材質(zhì)，大大提高了變送器的通用性。因此，寬的量程比，通用性的接液部件材質(zhì)，附加規(guī)格的減少，可使變送器的實(shí)用性和通用性得以提高，給設(shè)計(jì)者和使用者帶來方便。同時(shí)，也減少了備表的數(shù)量和種類，為企業(yè)減少了維護(hù)費(fèi)用。
6、方便的組態(tài)能力和自診斷功能，另外，對變送器的自診斷功能可以顯示變送器的運(yùn)行狀況和故障信息，從而，指導(dǎo)檢修維護(hù)人員對故障的分析和判斷。
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