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微波光電導(dǎo)少子壽命測試儀 微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀

時(shí)間:2014-6-19閱讀:331
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微波光電導(dǎo)少子壽命測試儀 微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀 型號: WJ-100A 
 產(chǎn)品簡介
      WJ- 100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010 設(shè)計(jì)制造。并且我單位是微波反射法標(biāo)準(zhǔn)起草單位之一。本設(shè)備采用微波反射無接觸光電導(dǎo)衰退測量方法,于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子 壽命的測量,提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測項(xiàng)目。
      壽命測量范圍:0.25μs-10ms;樣品電阻率下限>0.5Ω·cm。
      讀數(shù)方式:數(shù)字直讀。

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