方塊電阻測試儀可靠性研究
隨著濺射技術(shù)、靶材技術(shù)的發(fā)展深入和成熟，使以氧化銦錫透明導電玻璃（ITO玻璃）為代表的導電薄膜材料的制造和應用越來越廣泛。ITO玻璃目前是與液晶顯示等平面顯示技術(shù)配套的關(guān)鍵組件。從1987年起至今，ITO玻璃的制造在國內(nèi)已有二十年的歷史。產(chǎn)品已廣泛用于電子手表、計算器、游戲機、、電腦顯示器、平面電視等消費類產(chǎn)品，以及各種光電儀器設備和科學實驗中的透明導電電極等?，F(xiàn)在，國內(nèi)已有ITO玻璃生產(chǎn)企業(yè)的單位年生產(chǎn)能力由60萬片提高到了2000萬片。產(chǎn)品也從TN型ITO玻璃，延伸到STN型、觸摸屏、彩色濾光片眾多品種。
面對越來越大量的導電薄膜材料的生產(chǎn)制造，如何保證產(chǎn)品的質(zhì)量？除了要求生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)線穩(wěn)定性不斷提高，檢測技術(shù)在此也提供了強有力的支撐作用。
ITO玻璃的產(chǎn)品質(zhì)量檢測包括以下幾個方面：尺寸、面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。除尺寸方面的檢測僅與玻璃原片有關(guān)外，其余幾個方面都與ITO玻璃生產(chǎn)的工藝過程有關(guān)。由于國內(nèi)大多數(shù)ITO玻璃生產(chǎn)企業(yè)自己不生產(chǎn)玻璃原片，所以，與生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)的ITO玻璃產(chǎn)品質(zhì)量參數(shù)就是：面電阻、蝕刻性能、ITO膜層耐堿性、光電性能和可靠性等。
實際上，在ITO玻璃的生產(chǎn)過程中，檢測zui多的參數(shù)是ITO玻璃的面電阻。根據(jù)在不同崗位的檢測需要，生產(chǎn)企業(yè)分別使用手提式和臺式兩種面電阻測量儀。而手提式面電阻測量儀相對使用較多。
