日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計

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更新時間：2026-09-09 10:02:36瀏覽次數(shù)：1633次

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北京頗特儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s，適用于高真空設備、半導體行業(yè)、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體等對泄漏率有高要求的場合。市場價： 0.00 價格： 0.00

詳細介紹

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計無焊接結(jié)構(gòu)，金屬密封，精確度≤±1%，反應時間≤±1/秒，基本性能適用于半導體過程控制，實現(xiàn)了劃時代的低成本。型號5410系列同樣主體的設計價格也十分合理。適用于高真空設備、半導體潔凈室、高純氣體輸送等對泄漏率有很高要求的場合。

產(chǎn)品特色：
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應
通用的常閉型閥門
無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s
采用膈膜閥減少了死區(qū)
間距，主體尺寸和連接的設計可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容

技術(shù)參數(shù)：
流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLM
氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)，高純氣體
傳感器類型：熱式傳感器
閥門類型：電磁比例閥，常閉
控制范圍：2%-99%
控制速度：2%-99%,1秒以內(nèi)
另可選：QS快啟動，反映時間更快
控制精度：±1.0%FS以內(nèi)
線性： ±0.5%FS以內(nèi)
重復性： ±0.2%FS以內(nèi)
工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa
5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa
低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來定制
高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來定制
產(chǎn)品耐壓：980Kpa
泄漏率：為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)
使用溫度：0-50℃
允許濕度：10-90%
產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316L
密封圈：SUS316L
管路接頭：1/4英寸VCR
電氣接頭：D型9針
輸入信號：0-5V(模擬信號)
輸出信號：0-5V(模擬信號)
供應電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA
產(chǎn)品重量：1000g

電氣D型9針連線示意圖：
1號針：閥門開關(guān)信號(可不接)
2號針：輸出信號0-5V
3號針：電源+15VDC
4號針：電源COM
5號針：電源-15VDC(
6號針：輸入信號(高)
7號針：輸出信號COM
8號針：輸入信號(低)
9號針：閥門工作電壓反饋(可不接)