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微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測試儀/少子壽命測試儀 型號：HAD-100A
HAD-100A型是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標準MF1535-0707及國家標準GB/T 26068-2010設(shè)計制造。并且我單位是微波反射法國家標準起草單位之一。本設(shè)備采用微波反射無接觸光電導(dǎo)衰退測量方法，適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量，提供無接觸、無損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況，是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測項目。
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