表面電阻率的測量 
  表面電阻率定義為材料表面的電阻，并表明為歐姆（通常稱為方塊電阻）。其測量方法是將兩個電極放在檢驗(yàn)樣品的表面，在電極之間施加一個電位差，并測量發(fā)作的電流。

轉(zhuǎn)換極性法  
  轉(zhuǎn)換極性法施加一個正極性的偏置電壓，然后在規(guī)矩的延遲時間后測量電流。接著將極性反向，經(jīng)過一樣的延遲時間再測量電流。這種極性反轉(zhuǎn)進(jìn)程可以重復(fù)盡情的次數(shù)。根據(jù)邇來的電流測量效果，按照加權(quán)均勻可以計(jì)算出電阻值。

偏置修改技術(shù) 
  在測量電阻率非常高的材料時，布景電流可以會致使測量差錯。布景電流可以是由材猜中儲存的電荷（介電吸收）、靜電或抵觸電的電荷或壓電效應(yīng)致使的。布景電流可以等于或大于所加電壓源鼓舞出的電流。如果布景電流和測量的電流同極性，那么測量出的電流值將會比真值大得多。如果布景電流是反極性的，那么這種不希望有的電流可以會致使反極性的電流讀數(shù)。這就是說，電流的極性和所加電壓的極性相反，所以計(jì)算出的電阻將為負(fù)值。為了處置這個疑問，選用轉(zhuǎn)換極性和轉(zhuǎn)換電壓的方法實(shí)際上可以消除布景電流對樣品的影響。