北京杜賀利創(chuàng)科技有限公司
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閱讀:141發(fā)布時間:2024-9-16
碳化硅的外延工藝是整個碳化硅產業(yè)中的一種非常關鍵的工藝,由于現(xiàn)在所有的器件基本上都是在外延上實現(xiàn),所以外延的質量對器件的性能是影響是非常大的,但是外延的質量它又受到晶體和襯底。加工的影響,處在一個產業(yè)的中間環(huán)節(jié),對產業(yè)的發(fā)展起到非常關鍵的作用。
碳化硅一般采用PVT方法,溫度高達2000多度,且加工周期比較長,產出比較低,因而碳化硅襯底的成本是非常高的。
在器件制備方面,由于材料的特殊性,器件過程的加工和硅不同的是,采用了高溫的工藝,包括高溫離子注入、高溫氧化以及高溫退火工藝。
產品詳細信息
商 鋪:北京杜賀利創(chuàng)科技有限公司 http://www.liuyangwu.com/st3543/
主營產品:美國IRCON愛光(愛康)紅外測溫儀、紅外熱像儀、德國陽光蓄電池、德國WTW分析儀、變送器、流量計、焦爐紅外測溫系統(tǒng)
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