一旦當(dāng)位移傳感器發(fā)生故障勢(shì)必造成設(shè)備不能正常使用，那么這時(shí)用戶當(dāng)如何檢修呢？
首先檢查位移傳感器：由于系統(tǒng)為一閉環(huán)系統(tǒng)，判斷系統(tǒng)中哪一部分出現(xiàn)故障，要先斷開系統(tǒng)中的回路，使系統(tǒng)成為一開環(huán)系統(tǒng)。判斷傳感器信號(hào)時(shí)候正常，要斷開位移傳感器的反饋信號(hào)，使系統(tǒng)成為開環(huán)。這時(shí)，從工作站發(fā)出一個(gè)控制作動(dòng)器移動(dòng)的信號(hào)，然后測(cè)量傳感器的反饋值，重復(fù)幾次后，測(cè)量到傳感器的反饋數(shù)據(jù)為一個(gè)線性變化的直線，判定傳感器正常。
其次檢查放大器單元：排除了位移傳感器的故障后，現(xiàn)在要檢查放大器單元是否正常。首先要斷開放大器單元的輸出信號(hào)。拆除輸出接線，通過工作站給放大器單元加一個(gè)直流輸入信號(hào)，并測(cè)量放大器單元的輸出情況，重復(fù)幾次后，測(cè)量到的放大器單元的輸出信號(hào)成線性變化趨勢(shì)，判定放大器單元正常。
后檢查系統(tǒng)設(shè)置：在工作站中的顯示發(fā)現(xiàn)作動(dòng)器的行程只有±10mm,正常情況應(yīng)為±50mm，所以認(rèn)為系統(tǒng)設(shè)定出現(xiàn)問題，需要重新設(shè)定系統(tǒng)。重新設(shè)定作動(dòng)器的行程為±50mm之后，在工作站的顯示板上的顯示值仍不正確，故認(rèn)為只有重新標(biāo)定位移系統(tǒng)，才能解決此故障。
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