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閱讀：33發(fā)布時間：2025-9-1
或許大家還不夠了解雙色測溫儀。今天就雙色測溫儀的典型應(yīng)用即多晶硅生產(chǎn)測量來為大家介紹一下。一起來看下吧!
在多晶硅生產(chǎn)開始時，半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高壓瞬間擊穿，通過硅芯的電流使硅芯達(dá)到1080℃的工藝溫度，在硅芯由φ7mm~φ180mm成長的過程中，該工藝溫度必須保持不變。但是，隨著硅棒直徑的不斷增大，其相應(yīng)的阻抗會不斷降低，從而使硅棒的受熱性降低。為了保持1080℃的硅棒溫度不變，只能相應(yīng)地增加工作電流(電流從開始時的30A，到結(jié)束時為2800A)。在動態(tài)范圍內(nèi)的大電流變化，對生產(chǎn)設(shè)備和操作人員提出了較高的要求。此外，硅棒的熔點(diǎn)在1420℃左右，因此準(zhǔn)確測量多晶硅的溫度是非常重要的。
測量難點(diǎn)：
1、開始生產(chǎn)時硅芯的直徑僅為φ7mm，且目標(biāo)尺寸過小。
2、單色紅外測溫儀測量硅棒溫度時，設(shè)備必須安裝在還原爐外部，通過密封窗口瞄準(zhǔn)爐內(nèi)目標(biāo)。窗口污染對透光率的影響導(dǎo)致了實(shí)際測量的誤差。
3、雙層玻璃窗對紅外信號的衰減影響較大。
采用雙色測溫儀的優(yōu)點(diǎn)：
1、利用雙色測溫儀原理，直接測量目標(biāo)的實(shí)際溫度，不受材料輻射率的影響，無需對發(fā)射率進(jìn)行補(bǔ)償。
2、目視瞄準(zhǔn)，直視目標(biāo)。
3、對輕微的窗口污染不敏感。
4、不再依賴紅外能量，對信號衰減不敏感。
以上便是為您介紹的雙色測溫儀的典型應(yīng)用之多晶硅的生產(chǎn)測量，希望對您有所幫助!
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