1、測(cè)量前，先用高純度酒精和混合液或清洗被測(cè)表面與平晶工作面。再用紡綢或亞麻布輕揩，然后使平晶邊緣與測(cè)量面接觸，逐漸減少平晶傾斜，使整個(gè)面接觸，調(diào)整平晶與被測(cè)表面之間的夾角；直到出現(xiàn)清晰的干涉條紋為止。若出現(xiàn)的干涉條紋較密且不能減少時(shí)，說(shuō)明被測(cè)表面上有灰塵或雜物，應(yīng)再次清洗。
2、被測(cè)表面應(yīng)光潔、無(wú)劃痕、碰傷和銹蝕。
3、切勿把平行平晶壓在被測(cè)表面上硬推，以免拉毛平晶工作面。
4、在平行平晶使用中要求室內(nèi)溫度穩(wěn)定。由于平晶的傳熱性能差，溫度的不穩(wěn)定會(huì)使平晶內(nèi)部溫度分布不均勻而引起變形，從而影響其平面度。對(duì)于越大的平晶其影響也越嚴(yán)重。如它的上下表面有溫差時(shí)，會(huì)產(chǎn)生彎曲變形；中心與邊緣有溫差時(shí)，就會(huì)變凸或凹。一般當(dāng)溫度上升時(shí)，平面變凹；反之變凸。因此，在測(cè)量時(shí)平晶與被測(cè)表面應(yīng)等溫一段時(shí)間，直到干涉條紋形狀不再變化或變化較少后方能進(jìn)行測(cè)量，否則將由平晶與被測(cè)面之間的溫差產(chǎn)生變形而影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。 為了減少溫度對(duì)測(cè)量的影響，在高精度測(cè)量時(shí)，平晶應(yīng)避免直接用手握持，而用專(zhuān)用夾具或墊以亞麻布等。同時(shí)要有若干塊平晶交換使用，以減少手熱的影響。
5、兩平晶的工作面不能相互研合，否則將會(huì)損壞平晶工作面。
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