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inficon 真空計(jì)的名稱由來
真空腔體的真空壓強(qiáng)檢測(cè)使用真空計(jì)，一般配置是：前級(jí)泵組管道配置一只PSG500；本底真空配置一只熱電離規(guī)或者冷陰極規(guī)MPG400或者BPG400；工藝壓強(qiáng)測(cè)量/監(jiān)控配置一只CDG025D。
1. PSG系列: Pirani Standard Gauge
2. PCG系列: Pirani Capacity Gauge
3. CDG系列：Capacity Diaphragm Gauge
4. BAG系列：Bayard Alpert Gauge
5. VGC系列：Vacuum Gauge Controller
6、BPG系列：Bayard-Alpert Pirani Gauge（B-A型皮拉尼）
7、MPG系列：Magnetron Pirani Gauge（磁控皮拉尼）
8、HPG系列：High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge
9、PGE系列：Pirani Gauge Enhanced
10、PEG系列：Penning Gauge（冷陰極潘寧規(guī)）
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