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1200度單溫區(qū)CVD系統(tǒng) 非標(biāo)電阻爐

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更新時(shí)間：2025-09-22 14:47:06瀏覽次數(shù)：111次

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上海馬弗爐科技儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：50條

所在地區(qū)：浙江杭州市

聯(lián)系人：徐弋航（銷售）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng) ，溫度可以達(dá)到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合?！井a(chǎn)品型號(hào)】MFLCVD406-12【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm【額定溫度】1200℃/1400℃/17......

詳細(xì)介紹

商品描述

【產(chǎn)品型號(hào)】MFLCVD406-12

【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm

【額定溫度】1200℃/1400℃/1700℃

【電源電壓】AC220V/50Hz

【控溫精度】±1℃

一、產(chǎn)品描述

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.一體式設(shè)計(jì)優(yōu)化爐體結(jié)構(gòu)，節(jié)約空間
2.爐膛材料選用多晶莫來(lái)纖維材料，高溫不變形、保溫性能佳
3.雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，外殼溫度在室溫+10℃
4.智能PID控制儀表，30段可編程程序，可曲線升溫并設(shè)定溫度速率，恒溫時(shí)間控制，自動(dòng)停機(jī)等
5.控溫精度高，自測(cè)1000度以內(nèi)的精度±0.1℃；1000度以上±1℃
6.具有開門斷電超溫報(bào)警漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù)
7.可選配大屏幕無(wú)紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備型號(hào)	MFLCVD406-12
性能	控溫范圍	室溫-1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	加熱區(qū)長(zhǎng)度	400mm
	控溫精度	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	恒溫波動(dòng)	±1℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃）
	溫度均衡	±3℃（測(cè)試點(diǎn)為1000℃）
	升溫速度	推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min
	降溫速度	700℃以上≤10℃/min
	爐表溫度	爐體表面溫度小于室溫+10（測(cè)量點(diǎn)為1000℃）
構(gòu)成	外裝	冷軋鋼板，表面耐藥性涂裝
	爐體	陶瓷纖維
	傳感器	1200度K型熱電偶
	加熱元件	HDR優(yōu)質(zhì)電阻合金絲
	冷卻風(fēng)葉	軸流風(fēng)扇
	爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)
控制器	控制方式	PID控制
	設(shè)定表示	數(shù)字設(shè)定/數(shù)字顯示
	超溫保護(hù)	控制器一體型
	超溫設(shè)定	數(shù)字設(shè)定
	運(yùn)行功能	定制運(yùn)行/程序運(yùn)行（30段程序控溫）
	附加功能	偏差修正、停電補(bǔ)償、鎖鍵功能
	定時(shí)器	1分-99小時(shí)59分以及999小時(shí)50分?jǐn)?shù)字設(shè)定、自動(dòng)運(yùn)行、快速自動(dòng)停止
真空系統(tǒng)	真空度	1.選配機(jī)械泵可達(dá)真空 10的-2次pa *2.選配我司高真空系統(tǒng)（機(jī)械泵+分子泵組合），可達(dá)1.3310的-4次方pa（空爐狀態(tài)）**
	隔熱管堵	2只，氧化鋁材料
	爐管	*石英管（直徑60mm長(zhǎng)1000mm)**
	真空法欄	不銹鋼真空法蘭
	壓力表	-0.1至0.15mpa
供氣系統(tǒng)	質(zhì)子流質(zhì)計(jì)	量程和氣體：5-500SCCM、1-10SLM （可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）流量控制精度 ±1.0%F.S
	路數(shù)	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
安全	工作環(huán)境	RT±5-40℃
安全	使用保障	開門斷電超溫報(bào)警漏電保護(hù) 過(guò)溫保護(hù)
規(guī)格	爐體結(jié)構(gòu)	臥式
	爐管尺寸	Φ60mm
	電源電壓	220V50HZ
	輸入功率	4KW
出廠清單	管式爐	一臺(tái)
	真空系統(tǒng)	一套
	供氣系統(tǒng)	一套
	高溫手套	卡斯頓一雙
	爐勾	一把
	氣管	一根
	設(shè)備說(shuō)明書	一份
	儀表說(shuō)明書	一份
	保修卡	一份
選購(gòu)品	移動(dòng)爐架	不銹鋼
選購(gòu)品	觸摸屏智能儀表	50段編程，可實(shí)現(xiàn)與計(jì)算機(jī)連接。通過(guò)專用的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)來(lái)完成與單臺(tái)或多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能。

注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,

溫區(qū)可以做雙溫區(qū)，三溫區(qū)等多溫區(qū)，

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標(biāo)配清單：

出廠清單	管式爐	一臺(tái)
	真空系統(tǒng)	一套
	供氣系統(tǒng)	一套
	高溫手套	卡斯頓一雙
	爐勾	一把
	氣管	一根
	設(shè)備說(shuō)明書	一份
	儀表說(shuō)明書	一份
	保修卡	一份

可選配：

移動(dòng)爐架	整體不銹鋼
7英寸觸摸屏儀表	50段編程，大屏幕無(wú)紙記錄儀，實(shí)現(xiàn)對(duì)升溫曲線的實(shí)時(shí)記錄，并帶有存儲(chǔ)卡可對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

一、售后服務(wù)

：一年保修，終身技術(shù)支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內(nèi)因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)）

二、注意事項(xiàng)

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

關(guān)鍵詞：浮子流量計(jì) PID控制儀無(wú)紙記錄儀