化學(xué)氣相滲透注入工藝(CVI)是化學(xué)氣相沉積(CVD)法的一種延伸，是指將一種或幾種烴類氣體化合物經(jīng)高溫分解、縮聚之后炭沉積在多孔介質(zhì)內(nèi)部，使材料致密化的方法，是新發(fā)展起來的制備無機(jī)材料新技術(shù)，該技術(shù)主要用于制備各種高溫陶瓷基復(fù)合材料，包括碳/碳復(fù)合材料和以碳化物、氮化物為基質(zhì)的材料，CVI設(shè)備主要應(yīng)用于光伏輔材的碳纖維氣體沉積。