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擴散式壓力傳感器和電容式壓力傳感器的工作原理

時間:2025/1/30閱讀:72
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壓力傳感器是目前工業(yè)上使用最多的傳感器之一,常規(guī)的壓力傳感器主要是由結(jié)構(gòu)化的部件來表達,但是由于其體積大、重量大,無法提供功率,因此在工業(yè)生產(chǎn)中使用最多。

兩種常用的壓力傳感器介紹(圖1)

半導體壓力傳感器是近年來興起的一種具有體積小、質(zhì)量輕、精度高、溫度特性好等優(yōu)點的新型壓力傳感器。尤其是在 MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展下,半導體傳感器件越來越小,功耗低,可靠性高。

壓力傳感器有多種類型,按其分類標準可分為多種類型。

以下是兩種的壓力傳感器:

1、擴散式壓力傳感器

擴散硅壓敏元件的工作原理是以壓阻效應為基礎(chǔ),通過壓阻效應的原理,將被測介質(zhì)的壓力直接施加到傳感器薄膜(不銹鋼或陶瓷)上,使得薄膜產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成比例的微小位移,從而改變傳感器的電阻值。

該傳感器具有體積小、重量輕、工作穩(wěn)定等優(yōu)點,適用于生產(chǎn)過程控制、壓力校準、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥、液壓系統(tǒng)和閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC控制等領(lǐng)域。

兩種常用的壓力傳感器介紹(圖4)

2、電容式壓力傳感器

電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將測量到的電壓信號轉(zhuǎn)換成對應的電能的壓力傳感器。在電容器中,一般采用圓形或鍍金屬薄膜,當受壓后,薄膜與固定電極之間的電容發(fā)生變化,并由此產(chǎn)生相應的電信號。

電容式壓力傳感器具有輸入能量低,動態(tài)響應高,自然影響小,環(huán)境適應性好等特點。其中,陶瓷電容壓力計具有耐腐蝕、抗沖擊、無滯后、介質(zhì)兼容性好等特點,可用于各種介質(zhì)的壓力測試。

在生產(chǎn)和生活中,壓力傳感器被廣泛地用于各種工業(yè)自動化控制領(lǐng)域,包括水利水電、鐵路、交通、智能建筑、生產(chǎn)自動化、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多領(lǐng)域。

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