F21.N2E是一款二維運動壓電馬達(dá)，可進(jìn)行X向直線運動和θx偏擺運動。X軸直線行程可達(dá)10mm，分辨率可達(dá)5nm，速度可達(dá)3mm/s，重復(fù)定位精度可達(dá)0.1μm；θx偏擺行程可達(dá)10°，分辨率可達(dá)1μrad，速度可達(dá)3°/s，重復(fù)定位精度達(dá)0.001°?？韶?fù)載600g樣品進(jìn)行運動，外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊，體積小巧，適用于各種高精度應(yīng)用領(lǐng)域。

X、θx二維運動行程大響應(yīng)速度快閉環(huán)分辨率高真空兼容

半導(dǎo)體：掃描電鏡（SEM）樣品操縱、原子力顯微鏡、大范圍電子束直寫（EBL）、光刻機(jī)、晶圓加工與檢測、探針臺等。

光學(xué)：激光通訊、激光加工、天文望遠(yuǎn)鏡、光路調(diào)整、激光穩(wěn)定、光纖對準(zhǔn)、光學(xué)測試系統(tǒng)等。

生物與醫(yī)療：超分辨成像樣品移動、顯微及納米CT、細(xì)胞穿透、微計量配藥等。

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.D1E-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動F21.N2E系列壓電馬達(dá)，它是單通道壓電控制器，采用數(shù)字控制，24VDC供電，靜態(tài)功耗小于5W，通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷，尺寸僅105×103×30.1mm^3，外觀體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成。

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