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壓電物鏡定位器在激光晶圓切割的應用
壓電物鏡定位器的命名實際由它的驅(qū)動原理及其應用目的相結(jié)合而來的。“壓電”指的是它的驅(qū)動原理，即利用PZT壓電陶瓷來作為驅(qū)動源從而產(chǎn)生運動；而“物鏡定位器”則是它的應用目的，即用來帶載物鏡頭調(diào)節(jié)運動。但通常情況下，壓電物鏡定位器本身是不包含有鏡頭的，它可以根據(jù)實際使用要求帶載不同類型的物鏡頭。
通常情況下，壓電物鏡定位器的行程約100μm，但大行程版壓電物鏡定位器的行程可達1mm。例如芯明天P73系列壓電物鏡定位器，它的Z軸直線運動范圍可選200μm、500μm和1mm。同樣采用柔性鉸鏈設計機構(gòu)，無摩擦、運動直線性好且閉環(huán)定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡。
壓電物鏡定位器的特點主要是其高精度的運動以及超快速的響應速度。這個高精度到底有多高呢？分辨率可≤1nm！壓電物鏡定位器的分辨率可高至比1納米（nm，1nm＝10＾－9m）還要微小。
激光晶圓切割的原理是激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成由多個點連成的切縫從而達到切割的目的。
壓電物鏡定位器堅固的設計提供了非?？斓姆€(wěn)定時間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計，使它具有較高的剛度，同時保證了優(yōu)異的導向精度和動態(tài)性。
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