壓電促動器內(nèi)部集成高可靠性壓電陶瓷，可實現(xiàn)納米級分辨率，位移行程可達260微米，微秒級響應(yīng)時間，外部由柱形不銹鋼外殼保護。較高的內(nèi)部機械預(yù)載力可適用于高負(fù)載、高動態(tài)應(yīng)用。出力達50000N，使壓電促動器非常適于腔調(diào)諧、主動振動、減震抑震或自適應(yīng)力學(xué)。同時，小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉(zhuǎn)、精密加工或顯微光刻等應(yīng)用。