隨著精密加工制造、微電子工程、光學(xué)精密工程等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的快速發(fā)展，這對精密定位與加工技術(shù)提出了越來越高的要求，不但要求具有納米級定位精度，而且需要能夠?qū)崿F(xiàn)大行程的加工與定位技術(shù)。芯明天針對其大行程、高精度、快速響應(yīng)等要求研發(fā)設(shè)計一系列大行程多維度運動平臺，在精密加工、掃描顯微等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

XD601.XYZ100壓電平臺

XD601.XYZ100是以壓電陶瓷為驅(qū)動源并采用放大機構(gòu)的3維直線運動平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達毫秒級響應(yīng)、納米級定位精度。

1.XYZ三維運動

2.行程范圍X180μm，Y180μm，Z300μm

3.分辨率XY2nm，Z4nm

4.承載能力200g

XD602壓電平臺

XD602內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)200μm位移。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有較高的導(dǎo)向精度，同時具有較好的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。

1.XYZ 三維運動

2.行程范圍200μm/ 軸

3.分辨率8nm

4.承載能力300g

P15.XYZ300壓電平臺

P15.XYZ300是快速、高精度的三軸掃描及定位平臺，具有非常高的直線度。中心通孔66×66mm，行程為300μm/軸，內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動小化。

1.XYZ三維運動

2.行程范圍300μm/ 軸

3.分辨率6nm

4.通孔尺寸66×66mm

5.承載能力500g

P18.XYZ200壓電平臺

P18.XYZ200是專為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計的三維直線掃描臺，可以實現(xiàn)200μm的掃描范圍，通光孔為Ø35mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

1.XYZ三維運動

2.行程范圍200μm/軸

3.分辨率5nm

4.通孔尺寸Ø35mm

5.承載能力800g