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壓電納米定位臺用于光纖端面3D檢測系統(tǒng)
近年來,光通信飛速發(fā)展,光纖連接器作為光通信基本的光源器件,所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴(yán)格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸?shù)男剩虼斯饫w端面的檢測至關(guān)重要。
為了得到光纖端面的三維參數(shù),我們通常根據(jù)光學(xué)干涉來進(jìn)行測量。
芯明天P11系列一維壓電納米定位臺
P11系列壓電納米定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦等特點(diǎn)。
特點(diǎn):
·位移行程100μm
·分辨率4nm
·承載達(dá)800g
·體積小巧
·納米級定位精度
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