P12 系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅(qū)動、1~3 維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選 25mm 或 35mm，滿足顯微等應(yīng)用。壓電掃描臺可以實現(xiàn)單軸 320μm 的位移行程，一體式結(jié)構(gòu)使得多維運動無耦合、多種規(guī)格型號可選，以滿足不同應(yīng)用的需求。

特點

• 1~3 維

• 大位移 320μm

• 大承載 0.8kg

• 臺體中心通孔

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

1~3 維掃描臺

P12 系列壓電納米定位臺為 1~3 維直線壓電掃描臺，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多種規(guī)格型號，通孔直徑 25mm 或 35mm 可選。

小體積、大位移、中心通孔

P12 系 列 壓 電 掃 描 臺 采 用 機 構(gòu) 放 大設(shè) 計 原 理， 超 小 的 體 積 外 形， 尺 寸 僅 為60×60×24mm，可以實現(xiàn)大 320μm 的掃描范圍，中心通孔可選 25mm 或 35mm，35mm通孔對應(yīng)臺體外形尺寸為 70×70×24mm。

臺體采用 FEA 有限元分析優(yōu)化設(shè)計，具有零摩擦、超高導(dǎo)向精度、納米級分辨率等優(yōu)點。P12 系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩(wěn)定性。

閉環(huán)穩(wěn)定時間

P12 系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩(wěn)定性，下圖為 P12.X100S 負載 125g 達大位移 110μm，閉環(huán)穩(wěn)定時間約 20ms。

閉環(huán)線性度

開 / 閉環(huán)曲線

典型應(yīng)用

• 掃描干涉

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測量

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 光學(xué)捕獲

頻率負載曲線

技術(shù)參數(shù)

位移測量

出廠前使用電容測微儀進行位移測量

應(yīng)用案例

倒置顯微物鏡

P12.XYZ100S 應(yīng)用于熒光顯微