隨著精密制造和前沿科研的快速迭代，精密角度定位的需求也愈發(fā)嚴(yán)苛，既要具備納米級的定位精度，也要適配極端工況的使用需求，更要貼合細(xì)分場景的個性化操作。在此背景下，芯明天S20A.R2S一維θz無磁壓電旋轉(zhuǎn)臺，作為S20A系列壓電旋轉(zhuǎn)臺的新晉核心成員，S20A.R2S基于細(xì)分場景需求的精準(zhǔn)研發(fā)，為半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、量子科研等領(lǐng)域，提供高效、穩(wěn)定的精密角度調(diào)整解決方案。

核心產(chǎn)品特點

精準(zhǔn)設(shè)計，適配專業(yè)工況

S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺延續(xù)了無磁壓電定位技術(shù)的成熟積累，結(jié)合單向角度調(diào)整的應(yīng)用特性，在行程、承載、精度與環(huán)境適配性上具有針對性優(yōu)勢。

01、一維θz無磁結(jié)構(gòu)，杜絕磁場干擾

S20A.R2S采用一維θz軸單向旋轉(zhuǎn)設(shè)計，內(nèi)部結(jié)構(gòu)與關(guān)鍵材質(zhì)均經(jīng)過特殊無磁處理，從根源上消除磁場產(chǎn)生與干擾問題。這一設(shè)計使其可直接應(yīng)用于電子束加工、量子實驗等磁場敏感場景。

02、2mrad單向行程，滿足大角度調(diào)整需求

S20A.R2S可實現(xiàn)最大2mrad的單向旋轉(zhuǎn)行程，作為S20A系列的重要拓展，其單向行程與S20A.R1S-C1W的±0.7mrad雙向行程形成精準(zhǔn)互補，為單向角度補償、固定姿態(tài)設(shè)定等場景，提供了更大的操作空間。

03、3kg高承載能力，適配更多場景

在結(jié)構(gòu)設(shè)計上進(jìn)行優(yōu)化升級，S20A.R2S的額定承載能力達(dá)到3kg，可穩(wěn)定搭載重型光學(xué)鏡片、晶圓檢測夾具、精密探針卡等工件。更高的承載能力減少了多臺設(shè)備組合使用的成本，也節(jié)省了設(shè)備安裝空間。

04、納米級精度，保障定位一致性

S20A.R2S的線性度與重復(fù)定位精度同樣表現(xiàn)優(yōu)異，可長期維持納米級的定位穩(wěn)定性與一致性。無論是長時間的精密檢測，還是高頻次的角度設(shè)定，都能精準(zhǔn)輸出預(yù)設(shè)角度，為高精度加工、科研實驗提供可靠的定位保障。

05、復(fù)合材質(zhì)設(shè)計，兼顧剛度與輕量化

整體采用不銹鋼+鋁合金復(fù)合材質(zhì)設(shè)計：既保障了設(shè)備的結(jié)構(gòu)剛度與耐磨性，確保高承載下的運行穩(wěn)定性；又能實現(xiàn)產(chǎn)品輕量化，讓設(shè)備的安裝與集成更加靈活便捷。

技術(shù)參數(shù)

適配應(yīng)用場景

覆蓋多領(lǐng)域精密定位需求

憑借高效、精準(zhǔn)的性能設(shè)計，S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺可廣泛應(yīng)用于多個高端領(lǐng)域的精密定位場景，為各類核心工序提供穩(wěn)定支撐。

1、半導(dǎo)體制造

晶圓檢測實現(xiàn)晶圓和掩模版的精確對準(zhǔn)與定位、芯片鍵合探針卡微小角度調(diào)整等；

2、精密光學(xué)

真空環(huán)境下光路調(diào)整、激光加工光學(xué)元件角度設(shè)定、激光光束的偏轉(zhuǎn)與穩(wěn)定等；

3、生物工程

無磁環(huán)境下提供樣品在顯微鏡下進(jìn)行超高精度旋轉(zhuǎn)與操縱、醫(yī)療精密器械定位等；

4、精密計量與檢測

干涉儀、計量儀的單向角度校準(zhǔn)，重型精密工件的尺寸檢測定位。

定制化服務(wù)：貼合每一個專屬需求

S20A.R2S壓電旋轉(zhuǎn)臺支持根據(jù)客戶的實際應(yīng)用場景進(jìn)行個性化開發(fā)，無論是行程范圍的微調(diào)、安裝接口的定制，還是控制方式的適配，芯明天都將為您提供從需求溝通到方案落地的全流程服務(wù)，確保產(chǎn)品與工況完美契合。

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