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無塵無氧烘箱的工作原理

閱讀:99發(fā)布時間:2025-4-2

  無塵無氧烘箱的工作原理

  無塵無氧烘箱廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、通訊、化工、航空航天、、電子等行業(yè)。顧名思義,其主要特點就是烘箱工作過程中內(nèi)部達到潔凈,無氧的環(huán)境。

  那么其內(nèi)部結(jié)構(gòu)和工作原理是怎么樣的?

  怎樣達到無塵環(huán)境?

  一般精密烘箱的內(nèi)部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng),為了達到內(nèi)部無塵的環(huán)境,需要在出風(fēng)口的位置增加高溫高效過濾裝置(又分為千級和百級過濾器)。烘箱內(nèi)的空氣通過回風(fēng)口后,一部分經(jīng)過排氣口排除箱外,另外的經(jīng)過循環(huán)通道再次加熱,最后通過過濾器后回到工作室。

  除了過濾空氣外,另外要盡量避免工作過程中產(chǎn)生灰塵,需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

  無氧烘箱怎樣達到無氧環(huán)境?

  工作室內(nèi)主要是通過氮氣置換來達到無氧環(huán)境,在風(fēng)道內(nèi)充入高純度的氮氣,一般純度在99.999%以上(根據(jù)不同產(chǎn)品氧含量要求不同),氮氣進入后經(jīng)過高溫加熱后再通過過濾器,反復(fù)循環(huán)達到要求值。氧含量檢測目前主要是氧化鋯分析儀為主,打開電源,氧化鋯加熱達到工作溫度700-800℃,開始檢測。

  注意,在無塵室以外不要長時間使用,空氣當中有大量的顆粒長期使用會大大減少空氣過濾網(wǎng)的壽命。

  無塵無氧烘箱的控制和工藝流程?

  產(chǎn)品放進去,電源打開后,不要急著充氮氣,開始加熱。而是等到氧分析儀達到工作溫度,氧含量達到該溫度后才會顯示(當然氧檢測的范圍要根據(jù)不同的要求來設(shè)定)。顯示含量后,打開氮氣,達到要求的氧含量10ppm后,再打開加熱。

  另外,選購時選擇全自動控制,只要設(shè)定好程序,不需要人工干預(yù)。使用前,設(shè)定氧分析儀的量程和溫度配方,并調(diào)整各流量計的流量。主要過程如下:接通電源后,氧分析儀自動升溫,大流量計自動開啟充氮。當達到設(shè)定的氧氣含量時,大流量計關(guān)閉,小流量計開啟,同時開始加熱。當烤箱時間結(jié)束時,停止加熱并關(guān)閉氮氣。整個工藝流程結(jié)束。當然,也可以根據(jù)不同的要求進行控制和改變。

  以上就是關(guān)于無塵無氧烘箱的工作原理的介紹,還有其他問題,可以來咨詢我們。



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