牛津儀器于近期推出的搭載于Cypher和Jupiter型號AFM上的SCM模塊除了可以輕松實現(xiàn)以上工作外，還具有明顯優(yōu)于傳統(tǒng)SCM的巨大技術優(yōu)勢，包括更高的靈敏度、更高的分辨率、更快的成像速度以及可以直接準確測量電容的能力，而不是僅僅對于微分電容(dC/dV)進行分析。

 

本文將從以下角度介紹這一模塊：

 

SCM的工作原理

牛津儀器的SCM模塊如何實現(xiàn)如此好的性能

為什么SCM直接測量電容的能力比傳統(tǒng)的對微分電容(dC/dV)進行測量更加實用

傳統(tǒng)半導體器件的成像實例

在此之前通過普通SCM技術不能實現(xiàn)成像的材料研究實例，包括不形成自然氧化層的材料

本文對于如下人員尤為具有實用意義：

 

半導體工業(yè)界的工藝工程師和失效分析工程師

微電子設備和下一代半導體材料的研發(fā)人員

研究其他先進材料的科研人員，包括二維材料和儲能材料