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多工位磁控濺射鍍膜機

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更新時間：2023-01-14 07:37:41瀏覽次數(shù)：749次

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產(chǎn)品簡介

多工位磁控濺射鍍膜機可同時放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)

詳細介紹

多工位磁控濺射鍍膜機可同時放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉(zhuǎn)基片載臺方便客戶靈活調(diào)整各基片對應(yīng)不同靶位。預(yù)裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級全自動控制系統(tǒng)，設(shè)備可按預(yù)設(shè)工藝流程進行自動生產(chǎn)。工藝重復(fù)性優(yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)：

1 本底真空10^-7 Torr；

2 多基片設(shè)計，數(shù)量、尺寸可定制；

3 基片臺可公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)并加熱：300℃/500℃/800℃；

4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍，6個工位；

5 靶槍濺鍍距離可調(diào)，可升級強磁靶；

6 防交叉污染遮板設(shè)計；

7 可配備樣品預(yù)清洗功能；

8 可配備快速進樣室；

9 可配備自動壓力控制系統(tǒng)；

關(guān)鍵詞：鍍膜機控制系統(tǒng)

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