在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓清洗環(huán)節(jié)是決定芯片良率的關(guān)鍵步驟之一。某集成電路生產(chǎn)企業(yè)在引線框架及單晶硅切割工藝中,對(duì)清洗用超純水的顆粒度控制極為嚴(yán)格。傳統(tǒng)檢測(cè)方式多依賴人工取樣后送實(shí)驗(yàn)室分析,周期長(zhǎng)、數(shù)據(jù)滯后,難以滿足產(chǎn)線實(shí)時(shí)管控需求。該企業(yè)引入普洛帝UP-200超純水液體粒子計(jì)數(shù)器后,利用第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器,在產(chǎn)線旁實(shí)現(xiàn)了清洗液的在線顆粒監(jiān)測(cè)。設(shè)備搭配精密計(jì)量柱塞泵與超精密流量電磁控制系統(tǒng),采樣流量穩(wěn)定,數(shù)據(jù)重復(fù)性好。經(jīng)過三個(gè)月的運(yùn)行,清洗液顆粒超標(biāo)事件的響應(yīng)時(shí)間從原來的數(shù)小時(shí)縮短至分鐘級(jí)別,產(chǎn)品潔凈度指標(biāo)得到明顯改善。
除半導(dǎo)體場(chǎng)景外,UP-200同樣適用于高壓變電器清洗用水的離線檢測(cè)。某電力設(shè)備制造廠在變電器出廠前,需對(duì)內(nèi)部絕緣件進(jìn)行高壓沖洗,沖洗用水的顆粒度直接影響絕緣性能。技術(shù)人員使用UP-200對(duì)清洗用水進(jìn)行離線采樣分析,設(shè)定0.3μm及以上粒徑通道進(jìn)行計(jì)數(shù),檢測(cè)報(bào)告可直接作為出廠質(zhì)檢的依據(jù)。該案例體現(xiàn)了UP-200從水質(zhì)檢測(cè)到工業(yè)清洗用水分析的跨場(chǎng)景適配能力。
在液晶顯示器及導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)企業(yè)中,UP-200被用于工藝用水的日常抽檢。平板玻璃生產(chǎn)線對(duì)沖洗水中的微納米顆粒同樣敏感,設(shè)備的雙激光檢測(cè)方案能夠覆蓋從亞微米到數(shù)十微米的粒徑范圍,滿足不同產(chǎn)品線的檢測(cè)需求。

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