詳細摘要: MEMS煙霧氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體氣敏材料組成。…
產品型號:所在地:鄭州市更新時間:2023-07-16 在線留言
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詳細摘要: MEMS煙霧氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體氣敏材料組成。…
產品型號:所在地:鄭州市更新時間:2023-07-16 在線留言詳細摘要: MEMS 二氧化氮氣體傳感器利用MEMS工藝在Si基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低…
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