X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。
X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
儀器采用美國新型的Si-pin探測器，電致冷而非液氮制冷，體積小、數(shù)據(jù)分析準(zhǔn)確且維護(hù)成本低。采用自主研發(fā)的SES信號(hào)處理系統(tǒng)，有效提高測量的靈敏度，讓測量更。一鍵式自動(dòng)測試，使用更簡單，更方便，更人性化。八種光路校正準(zhǔn)直系統(tǒng)，根據(jù)不同樣品自動(dòng)切換。 多重防輻射泄露設(shè)計(jì)。的一體化散熱設(shè)計(jì)，使整機(jī)散熱性能得到極大提高，保證了核心部件的運(yùn)行安全。的機(jī)芯溫控技術(shù)，保證X射線源的安全可靠運(yùn)行，有效延長其使用壽命，降低使用成本。多重儀器配件保護(hù)系統(tǒng)，并可通過軟件進(jìn)行全程監(jiān)控,讓儀器工作更穩(wěn)定、更安全。ROHS專用測試軟件，標(biāo)準(zhǔn)視窗設(shè)計(jì)，界面友好，操作方便。
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