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EM科特掃描電鏡在硅片結(jié)構(gòu)的應(yīng)用

閱讀:17發(fā)布時(shí)間:2026-6-17

EM科特掃描電鏡在硅片結(jié)構(gòu)的應(yīng)用

綜述:

納米結(jié)構(gòu)通常是指尺寸在 100nm 以下的微小結(jié)構(gòu)。以納米尺度的物質(zhì)單元為基礎(chǔ),按一定規(guī)律構(gòu)筑或組裝一種新的體系。它包括一維的、二維的、三維的體系,這些物質(zhì)單元包括納米微粒、穩(wěn)定的團(tuán)簇或人造超原子、納米管、納米棒、納米絲以及納米尺寸的孔洞。結(jié)構(gòu)表征廣泛使用掃描電鏡。


儀器介紹:

EM科特臺(tái)式掃描電鏡擁有高分辨率,操作簡(jiǎn)單快捷方便,確保用戶能在極短時(shí)間內(nèi)快速上機(jī)操作。


實(shí)驗(yàn)步驟:

將具有納米結(jié)構(gòu)的硅片用雙面導(dǎo)電膠帶粘在鋁制樣品托上,直接放入EM科特臺(tái)式掃描電鏡中觀察形貌。放大倍數(shù):20000X‐160000X,高信噪比操作,照相速度 10s。

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結(jié)果討論:

硅片表面存在納米線狀的結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)形態(tài)清晰,按照某種規(guī)律分布均勻,納米線寬 25nm 左右。










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