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閱讀：14發(fā)布時(shí)間：2026-6-15
在工業(yè)生產(chǎn)的過(guò)程中，由于設(shè)備、環(huán)境等外在因素影響，可能會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)出來(lái)的產(chǎn)品未達(dá)到出廠標(biāo)準(zhǔn)，這時(shí)就需要檢驗(yàn)人員進(jìn)行檢查，找到產(chǎn)生異常點(diǎn)的位置。異常點(diǎn)的尺寸通常來(lái)說(shuō)都很微小，需要借助掃描電鏡來(lái)進(jìn)行分析。
CUBE系列掃描電鏡可以在一個(gè)相對(duì)范圍內(nèi)找到需要觀察的區(qū)域，并且通過(guò)EDS來(lái)分析該區(qū)域內(nèi)的元素，增加數(shù)據(jù)，幫助分析。下面是我們使用CUBE系列掃描電鏡進(jìn)行分析的兩個(gè)案例
案例一
樣本為一個(gè)金屬件，經(jīng)過(guò)加工后物體表面有黑色的點(diǎn)狀物質(zhì)，這會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品性能受限。
使用CUBE系列掃描電鏡拍攝后，從圖像中只能看出金屬件的表面確實(shí)有幾十微米級(jí)別的黑色物質(zhì)，并不能判斷它的組成。所以又對(duì)該區(qū)域進(jìn)行了面掃，從面掃結(jié)果中可以看出，黑色顆粒中的主要物質(zhì)為碳。那么可以從中推斷該黑色顆粒應(yīng)該是加工過(guò)程中，油類(lèi)物質(zhì)掉在金屬件上，從而導(dǎo)致的產(chǎn)品缺陷。
案例二
在工廠生產(chǎn)加工器件的過(guò)程中，會(huì)出現(xiàn)有碎屑掉落的情況。碎屑的尺寸較小，通常無(wú)法用常規(guī)光學(xué)顯微鏡判斷，這時(shí)我們需要借助SEM來(lái)進(jìn)行分析。
從圖像中可以看出，碎屑的尺寸均小于1mm。
放大后再使用面掃進(jìn)行元素分析。從面掃結(jié)果中，可以看出碎屑的元素主要有錳、鐵、碳和氧等多種元素。用戶(hù)根據(jù)鐵和錳的比例可以判斷碎屑的來(lái)源。
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