深圳市萊雷科技發(fā)展有限公司
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閱讀：23發(fā)布時間：2026-6-17
60年代末70年代初以來，X射線熒光光譜儀大致分為使用晶體分光的色散型和不使用晶體分光的非色散型兩類。使用半導體探測器的X射線熒光光譜儀當初被劃為非色散型光譜儀的一種，但由于近年來半導體探測器性能（特別是能量分辨率）提高，使用技術(shù)發(fā)展，現(xiàn)已被確定為一個能量色散的新分支。與此同時，分類方法也就變成了如下形式：
?、俨ㄩL色散型，一般說的X射線熒光光譜儀都是指使用晶體分光的波長色散型光譜儀。這類儀器又可分為兩種，一種是對各元素逐一進行角度掃描順序進行測定的所謂掃描式光譜儀;另一種是每個元素都單獨配備一個固定的測角器同時分析多個元素的所謂多元素同時分析式X熒光光譜儀，還有一種是前兩種組合在一起，既有順序掃描儀又有各種元素的固定分析器。掃描式儀器的示意圖見圖2-1。
多元素同時分析式儀器特別適用于作爐前的快速分析（圖2-2）
?、勰芰可⑿?。以帶有半導體探測器和多道脈沖高度分析器為特征的X射線熒光光譜儀叫做能量色散型光譜儀。因其具有能同時測定多個元素（還能測背景）的優(yōu)點，且數(shù)據(jù)處理快，故應(yīng)用領(lǐng)域日益擴大。能量色散型儀器將于以后扼要敘述。
?、鄯巧⑿?。如圖2-3所示，一般使用正比計數(shù)器作探測器，因其能量分辨率所限，常需要使用濾光片。X射線源用放射性同位素（RI）或用小型X射線管。因其分析對象是組成元素簡單的樣品，且形狀小巧故常當作專用儀器或便攜式儀器使用。
④近年來出現(xiàn)了由波長色散型與能量色散型組合在一起的X射線熒光光譜儀，兼?zhèn)涓髯缘奶亻L，以滿足特殊分析的要求。
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