20世紀80 ~ 90年代以來，隨著半導體制造、精細化工、納米技術、生物醫(yī)學等領域的快速發(fā)展，氣體流量測量向小微方向發(fā)展，對小微流量的需求日益突出。目前用于微流量測量的測量儀器主要有電子皂膜流量計、活塞式根據密封方式的不同，可分為石墨和汞)等。而電子皂膜流量計成本低，使用方便，廣泛應用于工業(yè)生產、理化分析、科學實驗等各個領。
電子皂膜流量計有溫度、壓力、體積校正功能。用戶可以通過現場自校正，同時得到被測氣體的質量流量和體積流量，并進行統(tǒng)計計算。它適用于任何氣體流量的檢測。電子皂膜流量計主要如下：
1.適用于校準方法。將密封的皂液回收杯一直放在電子秤上，讀出蒸餾水排出過程中皂膜管內液面位于下刻度線和上刻度線時的質量差，從而計算出標準體積。避免了常規(guī)標定帶來的液位弧度變化，無需反復移動肥皂回收杯，減少了操作帶來的誤差;在校準過程中，校準精度可以通過流量控制管和控制閥來控制，有效控制液體的分辨率可以達到0 .005ml，比常規(guī)控制精度高10倍。
2.還具有皂液回收功能，有效避免了皂液回流帶來的附加誤差，提高了皂膜流量計的準確度。同時避免了皂液的揮發(fā)和浪費。電子皂膜流量計正常運行后，可實現封閉運行，避免外界因素對流量計的影響。
3.常規(guī)電子皂膜流量計有0 .5的高精度水平，而電子皂膜流量計減少了操作過程中的影響因素，提高了標準體積的標定精度，避免了附加誤差的影響，提高了流量計的精度，可以達到0.2。
4.采用通訊裝置原理，實現了自動開膜方式，彌補了人工開膜的缺陷，減少了檢定誤差，提高了檢定效率。
電子皂膜流量計其準確性遠優(yōu)于用眼睛和手捏秒表間接判斷。用戶可以通過選擇不同量程的探頭和玻璃管來測量0.1 ml/min至50 l/min范圍內的氣體或液體流量，電路控制單元本身可以實現多量程轉換，因此具有更廣泛的應用范圍。儀器本身具有校準功能，用戶可以現場自行校準。操作方便可靠，經測試各項指標均滿足要求。
