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Alicat MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2025-09-11 08:11:56瀏覽次數(shù):451次

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產(chǎn)品簡介

Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。

詳細(xì)介紹

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Alicat MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器

簡單升級老化的熱式流量控制器

Alicat 艾里卡特MCE或MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下:與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快,外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)端對端的匹配連接。


Alicat MCV和MCE聯(lián)系緊密,采用內(nèi)置氣動截止閥,適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設(shè)定點為零時出現(xiàn)污染情況。


多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

艾里卡特Alicat提供*的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。


性能

可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標(biāo)簽)

可調(diào)比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)

標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)

高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)

可重復(fù)性:0.2%滿量程

標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)

氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦氣)

無需預(yù)熱時間


工作條件

兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度:-10°C至+60°C

內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)

耐受壓力:175 psig(190 psia)

STP/NTP:用戶可選(默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)


MCE或MCV系列包裝清單:

MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器(電源需另行訂購)

NIST可溯源校準(zhǔn)證書

艾里卡特操作說明書


配件(需另行訂購)

過程端口接頭和過濾器

電源

通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜

BB3和BB9多點式集線盒

Flow Vision軟件



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