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熱式氣體質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計的區(qū)別

閱讀:23發(fā)布時間:2026-4-23

   熱式氣體質(zhì)量流量控制器簡稱MFC,熱式氣體質(zhì)量流量計簡稱MFM,MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。

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   目前國內(nèi)使用廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量控制器即MFC,熱式氣體質(zhì)量流量控制器的主要原理是:在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動時,氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時,利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來測定流量。熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件,一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當保持溫差不變時,電加熱消耗的能量,也可以說熱消散值,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。

  成都松盛測控生產(chǎn)的熱式氣體質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計能使用于:C3H6, CO,  Ar, CO2, Air, O2, N2, He,H2,  N2O, SF6,CH4, C3H8, C4H10等絕大多數(shù)氣體。主要用于:石油化工、半導體行業(yè)、氣體分配系統(tǒng)、燃料電池、實驗室氣體檢測,具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便,測量準確等優(yōu)點。



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