成都松盛測控技術(shù)有限公司
成都松盛測控技術(shù)有限公司
閱讀：63發(fā)布時間：2026-4-19
熱式氣體質(zhì)量流量控制器與其他流量計的區(qū)別在于：熱式原理的產(chǎn)品可自動化集成度更高、產(chǎn)品精度好、穩(wěn)定性和重復(fù)性都是優(yōu)于市面上其他類型的流量控制器。實際使用中發(fā)現(xiàn)，當輸入的氣體不同時控制顯示的數(shù)值與實際不符，其實原因很簡單，因為在MFC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮氣）定義為標準氣體M。N2的CF值為1.00，其他的氣體以氮氣為中心，分布在0.1到1.4左右。
熱式流量計是基于熱擴散原理而設(shè)計的流量儀表，即利用流體流過發(fā)熱物體時，發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關(guān)系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度。當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關(guān)系，再通過微電子控制技術(shù)，將這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。閥體過流材質(zhì)均采用不銹鋼制成。
在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、氧化、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、催化裝置、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
儀表網(wǎng) 設(shè)計制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼