成都松盛測控技術(shù)有限公司
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閱讀：29發(fā)布時間：2026-4-16
成都松盛測控的熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以控制5sccm——1500slm范圍內(nèi)的氣體流量。能用來測量單一氣體的結(jié)構(gòu)，緊湊的氣體質(zhì)量流量計和控制器能用來測量和控制多種氣體高度集成的定制閥組。主要的技術(shù)優(yōu)點：基于熱式毛細管技術(shù)，模塊化的設(shè)計；極其緊湊的尺寸；高精度，線性和重復(fù)性穩(wěn)定；快速響應(yīng)時間；多種氣體/多量程范圍可選。
熱式氣體質(zhì)量流量控制器和流量計的優(yōu)點很多，舉幾個常接觸到的例子：1.對于大多數(shù)的流量測控系統(tǒng)和普通流量計而言，壓力、環(huán)境、溫度的波動以及介質(zhì)的變化將導致較大的誤差；而對于質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計，則一般可以忽略不計。2.熱式氣體質(zhì)量流量控制器可以對于不同介質(zhì)精確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量比例控制等特別有用。3.質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計也有很寬的工作壓力范圍，成都松盛測控技術(shù)有限公司推出的流量控制器和流量計可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)，如常規(guī)氣體氫氣、氧氣氮氣等，稀有氣體氦氣、氬氣等，也包括一些腐蝕性氣體等；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品最小流量范圍可達0～5 sccm，流量范圍可達1500 slm。流量精度可達滿量程的±1.0%, 流量控制范圍是滿量程的2~99% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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