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針對(duì)晶圓尺寸檢測(cè)，我們采用影像測(cè)量?jī)x數(shù)字相機(jī)與光譜共焦位移傳感器一體的方案，由數(shù)字相機(jī)負(fù)責(zé)檢測(cè)外徑等平面尺寸，光譜共焦位移傳感器負(fù)責(zé)檢測(cè)晶圓平面度、厚度等尺寸。
激光影像測(cè)量?jī)x應(yīng)用-平面度測(cè)量
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