外部壓力要求：

Mensor壓力控制器CPC6000氣源要求對于一個壓力通道，壓力變送器量程之上 10% 或壓力變送器之上 20 psi，取二者較小者。小心如果在控制器內(nèi)部殘余高壓的情況下從 CPC6000 上斷開供應壓力，可能導致調(diào)節(jié)器損壞。在斷開供應壓力之前，請排空CPC6000 中的氣體。

排氣要求

要實現(xiàn)負壓控制，必須配備一個真空源。

控制壓力穩(wěn)定性

主動量程范圍的 0.003%。顯示穩(wěn)定標記 10 秒鐘后一般優(yōu)于測量范圍的 0.001%。

每種類型調(diào)節(jié)器中可用的傳感器測量范圍

LP SVR：0-1 psig 到 0-50 psig（0-5 psia 到 0-50 psia）。

MP SVR：0-10 psi 到 0-150 psi。

HP SVR：0-75 psi 到 0-1500 psi。

最小控制壓力

排氣壓力之上 0.05% FS 或 0.025 psi，取二者較大者。

控制時間

對于 50cc 容積中 10% 步進壓力變化，10 秒鐘后顯示穩(wěn)定標記。容積越大，此時間越長?？刂频降陀?0.5 psia 的壓力時，此時間也會延長。

壓力控制速率

慢速、中速、快速（默認）。

供氣消耗

穩(wěn)態(tài)控制下 < 2.5 scfh。

超調(diào)

低超調(diào)模式：< 主動量程的 0.005%。

高速模式：< 主動量程的 1%。