目前,芯片式壓力傳感器在生產(chǎn)過程中需要進行多溫度點和多壓力點的校準,以滿足產(chǎn)品的精度要求,由于壓力芯片對測試應(yīng)力的反應(yīng)非常敏感,相應(yīng)地對壓力芯片校驗工裝的要求也十分苛刻;其中,壓力芯片測試工裝需要(1)具備良好的密封性,以確保工裝內(nèi)部的壓力穩(wěn)定;(2)精確的溫度采集功能,為壓力芯片的校準提供準確的溫度信息;(3)較低的測試應(yīng)力;(4)適用于不同的壓力芯片封裝形式。

為滿足以上要求,恒升偉業(yè)研制了一套壓力芯片標定設(shè)備,能解決目前壓力傳感器測試工裝,不易同時滿足精度、密封及適用范圍多種需求的難題。恒升偉業(yè)壓力芯片檢定系統(tǒng)以系統(tǒng)操作臺、控壓系統(tǒng)、壓力連接端口、軟件、數(shù)據(jù)采集器、電腦、打印機等組成,實現(xiàn)了芯片式傳感器的批量自動化配置、測量、標定和檢測等工作,可一次篩選1-48支(最多擴展350支)及以上的芯片式壓力傳感器,能夠有效地滿足實際生產(chǎn)中大批量壓力芯片產(chǎn)品的標定任務(wù)要求。
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