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將壓力傳感器調(diào)零與將儀表傳感器調(diào)零有很大不同。調(diào)零可能會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)做法要求在傳感器上形成深真空并具有能夠測(cè)量該壓力的準(zhǔn)確參考標(biāo)準(zhǔn)。HSIN6800壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)大批量檢驗(yàn)壓力傳感器的需求。
首先,無(wú)論怎么樣都是不可能達(dá)到零壓力,也就是真空的狀態(tài)。其次,基于真空的零位系統(tǒng)的設(shè)置成本很高,并且會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)不可靠。

既然零位是不可能達(dá)到的,那么需要確定應(yīng)在什么壓力下進(jìn)行零位校準(zhǔn)。在接近零的壓力下在校準(zhǔn)系統(tǒng)中建立平衡可能很困難。為了在選定的零點(diǎn)進(jìn)行適當(dāng)?shù)谋容^,標(biāo)準(zhǔn)和換能器處的壓力應(yīng)處于平衡狀態(tài)。校準(zhǔn)系統(tǒng)中的壓力越接近零,系統(tǒng)穩(wěn)定所需的時(shí)間就越長(zhǎng)。
當(dāng)系統(tǒng)中的壓力接近零時(shí),氣體分子的流動(dòng)會(huì)發(fā)生轉(zhuǎn)變。它們?cè)谙到y(tǒng)內(nèi)從一個(gè)部分流向另一部分的能力隨著分子總數(shù)的減少而降低。因此,系統(tǒng)兩個(gè)不同區(qū)域的壓力可能會(huì)有顯著差異。因此,當(dāng)將壓力傳感器歸零時(shí),標(biāo)準(zhǔn)壓力可能表明與被校準(zhǔn)傳感器壓力明顯不同的壓力。
通常,真空標(biāo)準(zhǔn)連接到被測(cè)傳感器的外部,然后兩者都連接到真空泵。穩(wěn)定真空的抽真空過(guò)程需要通過(guò)抽真空來(lái)確定系統(tǒng)是否無(wú)泄漏,然后監(jiān)控泄漏讀數(shù)。一旦確定系統(tǒng)無(wú)泄漏,系統(tǒng)將通過(guò)真空泵再次排氣和抽真空。此外,設(shè)置需要一個(gè)放氣閥,以便在歸零時(shí)將真空壓力調(diào)節(jié)到所需的值。一旦系統(tǒng)指示所需的真空壓力,真空標(biāo)準(zhǔn)和傳感器之間的讀數(shù)就會(huì)被記錄下來(lái)。然后將系統(tǒng)排放回大氣中,更換換能器,然后對(duì)新?lián)Q能器重復(fù)整個(gè)過(guò)程。整個(gè)過(guò)程可能需要幾個(gè)小時(shí)和大量的人工干預(yù)。
上述基于真空的調(diào)零問(wèn)題可以通過(guò)潛在的另外兩種技術(shù)來(lái)解決。一種涉及使用活塞或靜重測(cè)試儀作為參考標(biāo)準(zhǔn),而另一種則使用精密氣壓計(jì)作為設(shè)置零位的參考。
使用活塞壓力表作為參考時(shí),最小壓力點(diǎn)受活塞缸系統(tǒng)重量和尺寸的限制。由于該壓力明顯高于基于真空的歸零,因此該技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是整個(gè)系統(tǒng)的壓差可以忽略不計(jì)。使用這種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是自重測(cè)試儀在校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中的廣泛可用性以及活塞缸系統(tǒng)保證的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。它確實(shí)將所需的相對(duì)時(shí)間減少到零,但是,它仍然是一個(gè)手動(dòng)過(guò)程。對(duì)于真正低量程的壓力傳感器來(lái)說(shuō),這也是一個(gè)缺點(diǎn)具有高于平均非線性的。由于現(xiàn)在在壓力大于零的情況下進(jìn)行調(diào)零,因此存在在可能對(duì)跨度壓力產(chǎn)生負(fù)面影響的范圍內(nèi)增加偏移的風(fēng)險(xiǎn)。下面的論文詳細(xì)介紹了這種情況。
另一種使用顯著減少設(shè)置時(shí)間和成本的技術(shù)是采用精密氣壓計(jì)并將其用作零傳感器的參考標(biāo)準(zhǔn)。如果應(yīng)用得當(dāng),這種技術(shù)可以大大簡(jiǎn)化歸零過(guò)程,但了解其局限性很重要。通常,精密氣壓計(jì)的范圍從讀數(shù)的 0.008% 到 0.02%。與上述兩種方法相比,這種不確定性要大得多,這會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤地接受壓力偏差。這可以在具有高壓范圍的傳感器中輕松克服,與被檢表相比,氣壓計(jì)的不確定性可以忽略不計(jì)。
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