氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)主要是熱式工作原理、差壓式工作原理和科里奧利工作原理，其中熱式原理的氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)采用溫度變化對應于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，所以氣體質(zhì)量流量控制器的應用在工業(yè)中比較廣泛，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命，就離不開我們在使用過程中做好維護，而且也要做好記錄。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)使用一段時間后需定期的對氣體質(zhì)量流量控制器拆開進行內(nèi)部的氣路進行清理，在檢查是否有受損的零件；檢查氣體質(zhì)量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態(tài)，避免作業(yè)時出現(xiàn)振蕩現(xiàn)象；氣體質(zhì)量流量控制器里外的污染清理，避免密封面的損壞；質(zhì)量流量控制器的壓力、流量等在所能測試的范圍：各類質(zhì)量流量控制器都有其固定的檢測壓力、流量范圍，在其測定范圍內(nèi)完成測量，才能保證質(zhì)量流量控制器準確地進行測定。氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)的校準和檢測與同其它的分析檢測儀器一樣，都是用相對比較的方法進行測定的。因此，對氣體質(zhì)量流量控制器進行校零，經(jīng)常性對儀器進行校準都是保證儀器測量準確的*的工作。綜上所述，我們在使用氣體質(zhì)量流量控制器（MFC)/氣體質(zhì)量流量計(MFM)時，需要精心的維護，一旦發(fā)生儀器故障時可以及時查找到其原因。而且我們要注意的時，一旦儀器發(fā)生了故障，那么我們盡量找到原廠的氣體質(zhì)量流量控制器廠家進行維修減少損失。