熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱傳導(dǎo)原理測量流體流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體流量進(jìn)行準(zhǔn)確測量。具有體積小、數(shù)字化程度高、安裝方便、測量準(zhǔn)確等優(yōu)點。其中傳感器部分由兩個基準(zhǔn)級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環(huán)路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可在高溫和高壓條件下進(jìn)行流量測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計的優(yōu)點：真正的質(zhì)量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補(bǔ)償，測量方便、準(zhǔn)確。可得到氣體的質(zhì)量流量或者標(biāo)準(zhǔn)體積流量。寬量程比，可測量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。安裝維修簡便。在現(xiàn)場條件允許的情況下，可以實現(xiàn)不停產(chǎn)安裝和維護(hù)。數(shù)字化設(shè)計。整體數(shù)字化電路測量，測量準(zhǔn)確、維修方便。采用RS-485通訊，可以實現(xiàn)工廠自動化、集成化。