產(chǎn)品型號：ATLEX-S

關鍵字：ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S

關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。

產(chǎn)品介紹：

超緊湊的尺寸

軟電暈預電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過濾器

*風冷，主動熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學支架

能量穩(wěn)定模式

ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。

參數(shù)：

氣體介質 ArF KrF

波長 nm 193 248

高壓開關技術 固態(tài)開關 固態(tài)開關

重復率max. Hz 300 500 300 500

脈沖能量max. mJ 10 10 15 15

平均功率max. W 2.4 4 4 6

脈沖持續(xù)時間 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束發(fā)散角（V x H）mrad 1 x 2

能量穩(wěn)定性（標準偏差）% < 3

尺寸（長x寬x高）mm 630 x 400 x 300

重量 kg 65

冷卻 空氣

電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz