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天津瑞利光電科技有限公司

德國(guó)NUMERIK JENA增量式直線光柵尺LIK 41 原理介紹

時(shí)間:2021-11-5閱讀:698

產(chǎn)品詳情:

增量式直線光柵尺LIK 41

敞開(kāi)式直線光柵尺由讀數(shù)頭和光柵尺帶組成。

該測(cè)量系統(tǒng)擁有以下主要特點(diǎn):

-用戶的滑座系統(tǒng)控制讀數(shù)頭與光柵尺帶間的方向

-讀數(shù)頭非接觸地光電掃描光柵尺帶,因此滑座系統(tǒng)無(wú)機(jī)械反作用力的作用

-編碼器結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸小

-高運(yùn)動(dòng)速度,高達(dá)10 m/s

-讀數(shù)頭內(nèi)或接頭內(nèi)的信號(hào)細(xì)分倍率達(dá)100倍

-高分辨率(測(cè)量步距達(dá)50 nm)

-光柵尺帶精度高達(dá)±1 µm

-高細(xì)分精度,帶在線補(bǔ)償功能,擁有優(yōu)異的抗污性能(動(dòng)態(tài)偏移和幅值控制)

-允許較大的安裝公差

-一個(gè)增量步距精度的參考信號(hào),且與參考點(diǎn)掃描方向無(wú)關(guān)

 

典型應(yīng)用:

-半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備

-精 加工

-直線設(shè)備、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和坐標(biāo)工作臺(tái)

-測(cè)量機(jī)和測(cè)量顯微鏡

-醫(yī)療器械的定位和測(cè)量系統(tǒng)

-機(jī)器人

 

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應(yīng)用。LIK 41是該系列的min產(chǎn)品,特別配單場(chǎng)讀數(shù)頭,max限度減小外殼尺寸。

-LIK 41帶EPIFLEX讀數(shù)模塊(單場(chǎng)掃描)

-超小型尺寸

-個(gè)性化的配置

-1 Vpp或RS 422輸出信號(hào)

-多達(dá)100倍的細(xì)分信號(hào)

-min測(cè)量步距僅50 nm

-運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s(1 Vpp)


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