快速，精確，準(zhǔn)確地測量小樣本和大樣本
315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域
用戶友好的概念
復(fù)雜的分析和自動化軟件
CT 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運(yùn)動系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達(dá)20 kHz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時間減至少。共聚焦顯微鏡和3D白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了 分辨率。利用多傳感器技術(shù)，可以同時安裝多個傳感器頭，包括用于測量晶圓厚度的紅外干涉儀。
典型的應(yīng)用是印刷過程的分析和質(zhì)量控制，例如PV太陽能電池，基板材料的進(jìn)料檢查，各種基板上的厚膜測量，漿料倉庫，環(huán)氧膜，點(diǎn)或其他印刷和印刷的體積測量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測量（如焊料凸塊，微透鏡和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應(yīng)用。由于CT 300在整個行程中保持高精度，因此可以快速而 地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。
參數(shù)：
系統(tǒng)控制器：包括運(yùn)動控制，傳感器控制器（2 kHz），電源，工作站的USB接口
工作站電腦：查詢當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器
連接：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標(biāo)，DVI和模擬視頻輸出
電源要求：100-240V AC，50-60 Hz，2安培（240 V），5安培（100 V）
工作溫度：20°-30°C（68–86 F）
測量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）
線性編碼器分辨率：0.05μm（2μin）
橫向分辨率：min.1微米
X和Y的行程限制（電動）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）
Z的行程限制（手動）：50 mm（2in）（可調(diào)節(jié)至100 mm）
機(jī)動化的Z軸行程：100 mm，分辨率0.1 µm
平臺上的負(fù)載：max.10 kg
可用的傳感器：
共焦白光傳感器
共焦激光傳感器
激光三角測量傳感器
干涉儀（白光和紅外）
尺寸（長X寬X高）：900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站（35 x 41 x 63 [in]）
重量：400 kg (880 lbs)