產(chǎn)品介紹：

超緊湊的尺寸

軟電暈預(yù)電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC（全金屬陶瓷）容器

集成真空泵和鹵素過(guò)濾器

*風(fēng)冷，主動(dòng)熱管理

RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學(xué)支架

能量穩(wěn)定模式

ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

參數(shù)：

氣體介質(zhì) ArF KrF

波長(zhǎng) nm 193 248

高壓開關(guān)技術(shù) 固態(tài)開關(guān) 固態(tài)開關(guān)

重復(fù)率max. Hz 300 500 300 500

脈沖能量max. mJ 10 10 15 15

平均功率max. W 2.4 4 4 6

脈沖持續(xù)時(shí)間 ns 5-8

光束尺寸（V x H） mm 4 x 6

光束發(fā)散角（V x H）mrad 1 x 2

能量穩(wěn)定性（標(biāo)準(zhǔn)偏差）% < 3

尺寸（長(zhǎng)x寬x高）mm 630 x 400 x 300

重量 kg 65

冷卻 空氣

電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz