產(chǎn)品介紹：
直接驅(qū)動，無槽，無刷伺服電機(jī)
零齒槽電機(jī)， 速度穩(wěn)定性
 誤差運(yùn)動和擺動性能
直聯(lián)式高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
薄型平面設(shè)計(jì)
沒有機(jī)械接觸
Aerotech的ABRS系列旋轉(zhuǎn)氣浮載物臺以超薄的外形提供了角度定位，速度穩(wěn)定性和誤差運(yùn)動性能。ABRS旨在滿足晶圓檢查，高精度計(jì)量，X射線衍射系統(tǒng)，光學(xué)檢查和制造以及MEMS /納米技術(shù)設(shè)備制造的嚴(yán)格要求。
緊湊包裝
ABRS系列直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)平臺的設(shè)計(jì)已經(jīng)過優(yōu)化，可大程度地減少平臺高度。平臺的低矮外形降低了系統(tǒng)的有效工作高度，從而減少了與“堆積”有關(guān)的錯誤。除了較低的總高度外，ABRS系列還提供了一個通孔，可用于產(chǎn)品直通，激光束傳輸，電纜間隙或特定應(yīng)用的要求。
機(jī)械設(shè)計(jì)
ABRS設(shè)計(jì)具有大的空氣軸承表面，具有很高的剛度和承載能力，不僅產(chǎn)生 軸向和徑向誤差運(yùn)動，而且產(chǎn)生 的傾斜誤差運(yùn)動。所產(chǎn)生的面誤差運(yùn)動明顯優(yōu)于其他旋轉(zhuǎn)式空氣軸承工作臺和主軸， 受益于需要 平面性能的應(yīng)用。
無刷直驅(qū)
為了更好的定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列無槽無刷電機(jī)。電機(jī)采用磁路設(shè)計(jì)，可產(chǎn)生高扭矩輸出，而產(chǎn)生的熱量 少。無槽設(shè)計(jì)本質(zhì)上是零齒槽和無轉(zhuǎn)矩紋波。這使得ABRS位移臺非常適合需要低速或高速掃描速度的應(yīng)用。
準(zhǔn)確定位
光學(xué)編碼器是ABRS的標(biāo)準(zhǔn)配置。與Aerotech的反饋乘法器和控件配合使用時，分辨率可達(dá)到<0.03弧秒。
定制設(shè)計(jì)
定制版本的ABRS可用于費(fèi)率表和慣性制導(dǎo)試驗(yàn)臺應(yīng)用。
參數(shù)：
寬度：150 mm
桌面直徑：128.1 mm
高度：80 mm
孔徑：8 mm
總行程：360°連續(xù)
總線電壓：80 VDC
基本編碼器分辨率：3600行/轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速：max.300 rpm
精度：±3角秒
雙向重復(fù)性：<2弧秒
負(fù)荷
軸向：8 kg
徑向：4 kg
傾斜：3 N-m
軸向誤差運(yùn)動（同步）：<175 nm
徑向誤差運(yùn)動（同步）：<450 nm
傾斜誤差運(yùn)動（同步）：<9.7 µrad（<2.0弧秒）
軸向誤差運(yùn)動（異步）：<20 nm
徑向誤差運(yùn)動（異步）：<20 nm
傾斜誤差運(yùn)動（異步）：<0.4 µrad（<0.08弧秒）
工作壓力：80 psig（5.5 bar）+ 0 psig（0.0 bar）/-10 psig（0.7 bar）
空氣消耗：<56.6 SLPM（<2 SCFM）
材料：鋁
表面：硬涂層（62洛氏硬度）
慣性卸載：3850 kg-mm2
總質(zhì)量：4.8公斤