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天津瑞利光電科技有限公司

德國STAIB電子源原理介紹

時間:2020-7-16閱讀:356

相關(guān)產(chǎn)品介紹:
ES-380
具有高達(dá)3 keV的中等能量范圍的通用電子源,其聚焦束的大小和偏轉(zhuǎn)/掃描能力均可調(diào)。
主要特點(diǎn):
-能量范圍20 eV – 3 keV
-光束電流(max)20μA
-光束尺寸(min),max能量為90 µm,工作距離為21 mm
特點(diǎn):
-工作距離(WD)10毫米– 100毫米
-合適WD 21 mm標(biāo)稱值
-基本光束消隱(可選)
-外部光束消隱(可選)
-光束脈沖(可選)
-電腦控制(可選)
-電磁屏蔽(可選)
-光束掃描(可選)
-微處理器控制的電子束電流調(diào)節(jié)(可選)
-遙控

DESA 100是兩級能量光譜儀。選擇圓柱幾何形狀以保持高的靈敏度。輸入透鏡和能量光譜儀這兩個階段均來自柱面鏡配置。與標(biāo)準(zhǔn)CMA不同,聚焦是通過調(diào)節(jié)內(nèi),外圓柱的電位來實(shí)現(xiàn)的。此外,粒子進(jìn)入圓柱體之間的圓柱鏡區(qū)域,而不是通過狹縫進(jìn)入內(nèi)圓柱體。好處是光譜儀和樣品之間的工作距離長達(dá)55毫米,從而使樣品在復(fù)雜和大型系統(tǒng)中的定位變得容易。在能量選擇之前,使顆粒減速。通過調(diào)節(jié)通過光譜儀的粒子能量可以實(shí)現(xiàn)可變分辨率。
-高靈敏度
圓柱幾何形狀具有非常大的立體角,具有好的透射率和靈敏度。大立體角對于   使用精細(xì)聚焦電子束的高靈敏度AES和掃描俄歇顯微鏡非常有用。對于光電子光譜學(xué)來說,樣品在更大的范圍內(nèi)被激發(fā),輸入透鏡將被分析的表面限制在輪廓分明的圓形斑點(diǎn)上。
-可變的能量分辨率
可以調(diào)整通過光譜儀的粒子的能量,并且可以在很寬的數(shù)值范圍(100 meV至6 eV)中選擇能量分辨率。分辨率由計算機(jī)控制,可以針對每個采集窗口獨(dú)立調(diào)整。
-高能量分辨率功能
將分辨力設(shè)置為大于0.05%的值使DESA 100可以研究峰的精細(xì)結(jié)構(gòu)并獲得有關(guān)表面化學(xué)狀態(tài)的線索。這樣的高能量分辨率也可以在大型蒸發(fā)系統(tǒng)中執(zhí)行,從而提供了在生長過程中對表面化學(xué)狀態(tài)進(jìn)行原位和實(shí)時監(jiān)控的*功能。
-非關(guān)鍵的樣品定位樣品
位置可以從其標(biāo)稱位置偏移幾毫米,而不會降低分析質(zhì)量。55 mm的工作距離可以改變3 mm,而不會降低信號質(zhì)量。傳輸和能量校準(zhǔn)均保持穩(wěn)定。這種*的功能使DESA 100非常適用于所有表面分析系統(tǒng),包括結(jié)合了多種分析和沉積技術(shù)的大型系統(tǒng)。
-掃描俄歇顯微鏡

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