濕度傳感器廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)（IoT）。根據(jù)醫(yī)療呼吸監(jiān)測、非接觸傳感和人機(jī)界面的要求，快速響應(yīng)和高重復(fù)性對于高效、精確地采集信號(hào)非常重要。以往的研究工作主要集中在靈敏度的提高上，對響應(yīng)時(shí)間、穩(wěn)定性和可重復(fù)性進(jìn)行了削弱。本文，北京理工大學(xué)王曉毅、浙江大學(xué)高峰等研究人員在《ACS Sens》期刊發(fā)表名為“A High-Performance Surface Acoustic Wave Humidity Sensor with Uniform Multiwrinkled Graphene Oxide Film"的論文，研究利用真空過濾和液相轉(zhuǎn)移法獲得的均勻多皺氧化石墨烯（GO）薄膜作為傳感材料，提出了具有綜合性能的表面聲波（SAW）濕度傳感器。多皺褶氧化石墨烯薄膜具有厚度可控（薄至 29 nm）、晶圓制造均勻（2 英寸）、皺紋豐富等特點(diǎn)，因其具有大量的水分子吸附位點(diǎn)和傳遞通道而成為聲表面波濕度傳感器的有效敏感薄膜。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該傳感器可獲得高靈敏度（10.5 kHz/RH%@60 nm 厚膜）、超快響應(yīng)（約45 ms）、良好的穩(wěn)定性（變化幅度約0.1%）、可重復(fù)性（變化幅度約1%）以及晶圓級(jí)制造能力，這表明其在醫(yī)療呼吸監(jiān)測、非接觸傳感和人機(jī)界面方面具有實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。

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