青島佳鼎分析儀器有限公司
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閱讀：175發(fā)布時間：2024-7-23
來源：網(wǎng)易新聞
快科技3月5日消息，Intel發(fā)布了一條特殊的開箱視頻，堪稱最貴：他們從ASML拿到的一臺高NA EUV光刻機，已經(jīng)開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內(nèi)安裝了。
這臺型號為Twinscan EXE:5000的光刻機著實是個龐然大物，運輸過程中動用了250個貨箱，總重約150噸，先用飛機從荷蘭運到俄勒岡州波特蘭，再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還只是核心組件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師，耗時約6個月，然后還得花時間調(diào)試。
這臺光刻機主要作為研究之用，將會在Intel 18A節(jié)點上進行測試，但大規(guī)模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節(jié)點上，時間預計2025-2026年左右 。
該光刻機可以實現(xiàn)8nm的分辨率，而現(xiàn)有低NA光刻機單次曝光只能做到13nm，同時晶體管密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關心的價格上，ASML的說法是大約3.8億美元，但這只是起步價，更高配置自然更貴，Intel CEO帕特·基透露在4億美元左右，也就是逼近29億元。
相比之下，低NA EUV光刻機約為1.83億美元。
除了Intel，三星、臺積電、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機，訂單有數(shù)十臺。
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