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ASML傳來(lái)新消息,EUV光刻機(jī)自由出貨不遠(yuǎn)了?

閱讀:440發(fā)布時(shí)間:2022-6-3

ASML的EUV光刻機(jī)研發(fā)制造出來(lái)后,其就不能自由出貨,原因是《瓦爾森協(xié)議》的緣故,的設(shè)備不能自由出貨。

相比之下,DUV光刻機(jī)并非ASML的設(shè)備,所以,DUV光刻機(jī)一直都能自由出貨,ASML也曾表示,DUV光刻機(jī)出貨一般情況下是不需要許可的。

從ASML方面的表態(tài)就能夠看出來(lái),只要EUV光刻機(jī)不再是的設(shè)備,其就可能自由出貨。

ASML 二手DUV光刻機(jī)

ASML傳來(lái)新消息,EUV光刻機(jī)自由出貨不遠(yuǎn)了?

近日,ASML正式對(duì)外公布了新財(cái)報(bào),其中有兩個(gè)數(shù)據(jù)很關(guān)鍵,一個(gè)孔徑值為0.33 和0.55的NA EUV光刻機(jī)獲得大量訂單;

另外一個(gè)NA EUV光刻機(jī)已經(jīng)向英特爾等出貨。

據(jù)了解,NA EUV光刻機(jī)是EUV光刻機(jī)升級(jí)版,其采用更高的曝光精度,可以將芯片縮小至2nm。同時(shí),生產(chǎn)效率更高,每小時(shí)曝光晶圓超170片以上。

精度和效率提升的同時(shí),NA EUV光刻機(jī)的售價(jià)也在上漲,單臺(tái)價(jià)格超過(guò)3億美元,盡管如此,英特爾、三星以及臺(tái)積電等廠商仍積極下單購(gòu)買。


也就是說(shuō),更*的NA EUV光刻機(jī)已經(jīng)出貨了,那么,EUV光刻機(jī)自由出貨不遠(yuǎn)了?

根據(jù)ASML的表態(tài)來(lái)看,新一代光刻機(jī)上線后,上一代EUV光刻機(jī)也將實(shí)現(xiàn)自由出貨。

但就目前而言,EUV光刻機(jī)要想實(shí)現(xiàn)自由出貨,還需要以下幾個(gè)條件中的任意一個(gè)即可。

ASML二手DUV光刻機(jī)晶圓

首先,ASML拿到許可。

雖然NA EUV光刻機(jī)已經(jīng)出貨,EUV光刻機(jī)也不再是的光刻機(jī),但仍是生產(chǎn)制造7nm以下芯片的必要設(shè)備。

消息稱,美要在10nm以下芯片制造技術(shù)方面進(jìn)行,讓*的制程芯片技術(shù)僅掌握在少數(shù)企業(yè)手中。

這就意味著,雖然EUV光刻機(jī)不再是的設(shè)備,但在沒(méi)有許可的情況下,ASML想實(shí)現(xiàn)自由出貨還是比較難的。


其次,類似EUV光刻機(jī)的設(shè)備出現(xiàn)。

據(jù)悉,國(guó)內(nèi)廠商突破的技術(shù),美很快會(huì)允許其它廠商自由出貨,就像華為自研了汽車芯片等產(chǎn)品后,美就批準(zhǔn)了一項(xiàng)價(jià)值超1億美元的汽車芯片等出貨許可。

也就是說(shuō),ASML即便是沒(méi)有拿到EUV光刻機(jī)的出貨許可,只要國(guó)內(nèi)廠商推出了類似的產(chǎn)品或者世界上有其它國(guó)家推出了類似的產(chǎn)品,EUV光刻機(jī)也將實(shí)現(xiàn)自由出貨。

就目前來(lái)看,這一天已經(jīng)不遠(yuǎn)了,因?yàn)槎碚谘邪l(fā)*的X射線光刻機(jī),佳能、尼康等老牌光刻機(jī)廠商正在聯(lián)合搞突破。


還有就是,國(guó)內(nèi)廠商在*的光源技術(shù)、透膜技術(shù)等方面也取得了很大突破,為國(guó)產(chǎn)*光刻機(jī)研發(fā)制造打下了基礎(chǔ)。

最后,新技術(shù)的出現(xiàn)。

EUV光刻機(jī)主要是用于生產(chǎn)制造7nm芯片以下,一旦有新技術(shù)出現(xiàn),EUV光刻機(jī)必然會(huì)自由出貨。

據(jù)悉,NIL工藝已經(jīng)推出,2025年即可用于生產(chǎn)制造5nm芯片;光電芯片也被看作是硅芯片的替代者,荷蘭已經(jīng)計(jì)劃投資11億歐元研發(fā)該技術(shù)。

可以說(shuō),相應(yīng)替代技術(shù)的出現(xiàn),必然也加速實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)自由出貨。


ASML本質(zhì)上是想讓EUV光刻機(jī)盡快自由出貨的

雖然EUV光刻機(jī)還無(wú)法自由出貨,,但ASML本質(zhì)上是想讓EUV光刻機(jī)盡快實(shí)現(xiàn)自由出貨。

因?yàn)閷?duì)ASML而言,實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)是百利而無(wú)一害的,不僅能夠快速增加營(yíng)收,實(shí)現(xiàn)300億歐元的目標(biāo),還能拿下更多的市場(chǎng),從而保證在這一領(lǐng)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)。

相反,ASML不能自由出貨,只會(huì)加速其它廠商自研進(jìn)度,或者開(kāi)辟新的道路,所以ASML一直都在加大產(chǎn)能,并表達(dá)出反對(duì)限制出貨的不滿情緒。



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